項目

HD-U3020H

HD-U4030H

HD-U5040H

測量行程（mm）

300*200*200

400*300*200

500*400*200

外形尺寸（mm）

1300*920*1600

1400*1020*1600

1500*1120*1600

儀器重量（Kg）

440

520

600

測量精度（μm）

E_（x，Y）:2.8+L/200   E_（Z）:5+L/200  (L單位mm）

重復精度（μm）

3

玻璃承載（Kg）

30

放大倍率

0.7～4.5X高清晰卡位變倍鏡頭,影像放大34~220X

光柵尺分辨率

1μm

CCD

高清晰彩色攝像機

傳動方式

精密直線導軌+研磨滾珠絲桿

運動控制

伺服電機

面光源

5環40區表面環形LED冷光源，亮度可調

輪廓光源

平行光路設計，無極連續可調LED冷光源

測量軟件

自動測量軟件

操作方式

程序控制+搖桿

工作環境

溫度：20℃±2℃,濕度30-80%，遠離振動：＜0.002g，低于15Hz

電源

單相AC 220V/50Hz/10A