型號(hào)

HD-U2010X

HD-U3020X

HD-U4030X

工作臺(tái)

X/Y行程（mm）

200*100

300*200

400*300

Z軸行程（mm）

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺(tái)面尺寸(mm)

400*300

500*400

500*400

玻璃臺(tái)面尺寸(mm)

230*130

330*230

430*330

傳動(dòng)形式

X/Y/Z三軸精密V型導(dǎo)軌，X/Y軸光桿傳動(dòng)，Z軸光軸傳動(dòng)

測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

測(cè)量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM+L/200

多功能數(shù)據(jù)處理器可測(cè)點(diǎn)、線(xiàn)、圓弧、圓、角度等

圖形系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本彩色 1/2″CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X

物鏡放大倍率：5X 10X 20X 50X

目鏡組

10倍雙筒鏡    總放大倍數(shù)50X-500X

照明系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸

（L*W*H）(mm)

600*400*1100

750*500*1100

850*600*1200

儀器重量(Kg)

150

180

250